纳米真空互联实验站建设再传捷报

　　3月24日，中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所“纳米真空互联实验站”建设项目再次传来佳绩，其核心系统“纳米真空互联示范线管道”经专家现场验收，各项实测技术指标均达到合同规定要求，顺利通过预验收，标志着“纳米真空互联实验站”的真空互联工程取得里程碑式的重大进展。纳米真空互联示范线管道是纳米真空互联管道与传输系统的一部分，是纳米真空互联管道与传输系统的功能和极限技术指标工程化的验证装置，由1套进样室、5套过渡室、8套传输室和1套中转过渡室等单元模块连接构成，真空管道全长30米，成功连接了材料生长、测试、工艺制备等设备，通过程序自动控制和手动控制样品小车在真空管道系统中可沿着不同路径随机运行，目前累计已运行500多个小时，样品小车在全管道系统中运行顺畅平稳。
　　纳米真空互联实验站是世界首个集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。由中国科学院、江苏省、苏州市和苏州工业园区共同建设，总投资约15亿元，一期工程投入3.2亿元，于2014年启动，2016年成功实现了纳米真空互联模拟实验装置的研制，此次，纳米真空互联示范线的成功研发，将为下一步纳米真空互联实验站单元系统的互通互联和功能实现提供了保障，2018年纳米真空互联实验站一期建成后将实现100米真空管道，30多台设备的互通互联，实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面的协同效应与融合创新，为科研和战略性新兴产业发展提供先进的开放平台。本次示范线管道通过预验收，为一期超高真空互联小型验证装置的顺利建成和二期原子级的操控与表征系统开发等奠定坚实的基础，为实现纳米科学基础和前沿技术研究，促进我国材料产业技术变革提供平台技术支撑。

来源：江苏省科技厅