苏州建成国内首条全开放6英寸MEMS中试线

　　 新华社 南京10月22日电（记者杨绍功）记者从苏州工业园区获悉，近日苏州建成国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线。

　　据了解，该中试线由 苏州纳米科技发展有限公司 建设，含超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米。该项目建设得到了江苏省“十二五”重大科技平台项目和工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

　　苏州市集成电路行业 协会秘书长张希军表示，当前，国内中小MEMS企业做出样品后多无法进入代工厂，在创新中面临产品中试瓶颈，该中试线的投用将有望填补产业链空白。

　　据了解，我国正处在MEMS产业格局形成、产业化加速发展的时期。江苏是目前国内MEMS产业资源集聚度最高的区域，南京、无锡、苏州等城市已经逐步形成了包括MENS传感器芯片设计、研发、中试、 封装测试 在内的全覆盖产业链。